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真空镀膜机、注入机、半导体外延检漏,真空氦质谱检漏仪

更新时间:2024-04-05 09:42:03 [举报]
很多情况下,我们需要密封住一定空间,防止气体或液体在压力的作用下,流进或流出。需要密封性检测的应用领域非常广,如真空设备(真空镀膜机,液晶注入机,PVD,半导体外延等等),需要在真空条件下工作,要求在工作时,空气不能漏进工作腔体,否则生产不能进行,或者产生次品,浪费人力物力,还有承载液体或气体的容器(液压气瓶,氧气瓶,空调冰箱中的雪种容器等等),要求在容器内外存在压差的情况下,不能有气体或液体漏出。如果有漏,后果严重,一般会造成有效物资的浪费,如有毒物资、腐蚀性气体漏出,甚至会酿成事故。 这些对密封性有要求的产品或设备,在投入使用前,就要行检漏,使用中也要定期进行检漏检查。

氦质谱检漏是一种快速、灵敏、可靠并且可以定位漏点的检漏方法。其主要优点包括:精度高,氦质谱检漏可以达到 5E-12 mbarL/s 甚至更高的精度,可以通过标准漏孔进行计量,并且重复性非常好。快速,尽快定位并修复漏点可以节省时间并减少报废。氦质谱检漏能够快速得到结果,响应时间一般仅需几秒至几十秒。可定位漏点,喷氦法,吸枪法等比较常见的氦质谱检漏方法可以确定泄漏的位置,便于后期处理漏孔或改进工艺。不受温度、产品形变、内表面放气等的影响,不会弄湿或污染工件。

氦质谱检漏仪是一种用于检测氦气的质谱仪,其内部有一套高真空系统,以及一个与其相连的质谱室。外界的气体进入到检漏仪质谱室后,会在离子源处被电离,产生离子。气体离子被加速后进入磁场,其路径会被偏转,由于不同的离子荷质比不同,偏转半径也不同。在合适的地方设置一个狭缝,就可以仅让示踪气体——氦气的离子通过并到达收集极。收集极得到的离子流信号和进入检漏仪的氦气量多少,即泄露率的大小成正比。通过测量该信号,就可以测量泄漏率。氦质谱检漏仪厂家,氦气检漏仪设备定制,免费提供行业解决方案,可以来电!
标签:氦质谱检漏仪氦质谱检漏设备
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