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为了方便副炉室3移动到取晶位,并方便副炉室3的拆解、清理,连续拉晶单晶炉还包括副炉室升降驱动装置12和副炉室旋转驱动装置13,所述所述副炉室3通过副炉室旋臂14连接在副炉室升降驱动装置12上,以便通过副炉室升降驱动装置12驱动副炉室旋臂14升降,并通过副炉室旋臂14带动副炉室3升降,所述副炉室旋转驱动装置13连接在副炉室升降驱动装置12和副炉室旋臂14之间,以便使得副炉室旋转驱动装置13随副炉室旋臂14一起升降,并通过副炉室旋转驱动装置13驱动副炉室旋臂14旋转,副炉室旋臂14又带动副炉室3旋转。
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进一步为了防止在副炉室移动到取晶位的过程中,因晶棒掉落而出现事故,连续拉晶单晶炉还包括在副炉室移动到取晶位的过程中用于承接晶棒的电动接晶托,所述电动接晶托包括提升杆、用于承接晶棒的托板、电动推杆、接晶托电机和固定管,所述电动推杆连接在副炉室旋臂上,所述提升杆连接在电动推杆的推杆上,以便通过推杆的升降带动提升杆升降,所述接晶托电机连接在提升杆上,所述托板连接在接晶托电机的输出轴上,以便通过接晶托电机驱动托板旋转,所述固定管套装在提升杆和电动推杆的推杆的外侧,所述固定管连接在副炉室旋臂上。分子泵回收,真空泵回收,真空流量计回收,plc编程回收,控制屏回收,离子泵回收,涡轮分子泵回收,螺杆真空泵回收,涡旋高真空泵回收,液压传动装置能准确的完成主炉室和副炉室的开启,炉室、副炉室上升到位后对称旋出,保主机稳定可靠,并便于机动取出晶体,拆装热场系统和清理炉内各部。炉体部件采用316L不锈钢,法兰整体锻造,经过振动消除应力、缺陷检查和探伤检验及氦质朴检漏仪检漏。