EDS可以提供元素的定性分析和定量分析，能够准确地检测材料表面的元素种类和含量。通过分析元素分布情况，可以识别化学腐蚀、应力腐蚀开裂等化学或物理作用导致的失效，进一步确定失效机制。
SEM+EDS可以用于研究环境污染物质对生物体（如鱼类、昆虫等）的毒害作用及其机制。通过观察生物体在不同污染环境下的形貌变化和元素分布情况，可以深入探究环境污染物质对生物体的毒害作用及其与环境因素的相互作用。
故障分析：对于飞机或其他航空器出现的故障，SEM+EDS可以用于分析故障原因。例如，当飞机出现腐蚀、疲劳或机械损伤等问题时，SEM可以观察到这些缺陷的微观形貌，而EDS可以分析缺陷部位的元素组成。这有助于确定故障的源头和原因。
