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蒸发镀膜一般是加热靶材使表面组分以原子团或离子形式被蒸发出来。并且沉降在基片表面，通过成膜过程（散点－岛状结构-迷走结构-层状生长）形成薄膜。
对于溅射类镀膜，可以简单理解为利用电子或高能激光轰击靶材，并使表面组分以原子团或离子形式被溅射出来，并且终沉积在基片表面，经历成膜过程，终形成薄膜。
在光学薄膜的尺度上看（也就是1/10波长作为单位，约为100A），真空镀膜的均匀性已经相当好，可以轻松将粗糙度控制在可见光波长的1/10范围内，也就是说对于薄膜的光学特性来说，真空镀膜没有任何障碍。
溅射镀膜中的激光溅射镀膜pld，组分均匀性容易保持，而原子尺度的厚度均匀性相对较差（因为是脉冲溅射），晶向（外沿）生长的控制也比较一般。
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抽空时间相同，而真空度偏低，这时候关闭主阀，如真空计指针很快下降，多数情况是真空室漏，应先查出漏点。如真空计指针下降很慢，多数情况是真空机组抽气能力不够，查找真空泵及阀门看哪里出现泄漏，或是扩散泵油污染或氧化；或前级管路密封不好，泵油不足；或泵油乳化，轴封漏油等。漏--分内漏和外漏，较大的漏点可以用火焰法，利用气流能使火焰偏离的原理，先抽上真空，比如用蜡烛或打火机在可疑点附近逐步查寻，会发现火苗向漏点偏移，则可找到漏点。查找小漏和微漏：利用在高真空状态下电离管对某些气体反应敏感来检漏，比如丙酮或乙醇，用医用注射器向可疑的地方喷射丙酮或乙醇，喷到漏点时，电离计的指针会有明显摆动。用这种方法检漏一定要有耐心，一定要等到电离计的示值稳定了--也就是真空机组的抽气能力和漏率平衡了，然后再喷射。好是反复几次，确认漏点。内漏多发生在有水冷套的设备上，查外漏没有发现疑点，但是却有以下现象：机械泵的抽速明显偏低、真空计示值低、机械泵油很快乳化、真空室内的铁基零部件明显锈蚀。具备以上条件基本可以确定有内漏。
发黑通常是由于过早氧化造成的。泛黄一般是因为铝源中含有杂质过多，一般纯度应在4 N或5N以上。无论是涂布机的真空度不达标，都要达到10—7倍Pa。（不准确）。涂敷物品的清洗不，表面残留有清洁剂和水。被涂物品表面温度不合理，温度过高或过低。涂层项目的潜在设置不合理。真空扩散泵油应更换。调节蒸发源的温度，不能太低或太高。如果电子束蒸发，电子束的轰击位置也应该调整。
真空镀膜加工中冷却设备需要提供智能、稳定的冷冻水，来确保真空镀膜工艺中电镀液的温度恒定，所以会选择使用水冷式冷水机来作为真空镀膜加工冷却设备。
一 真空镀膜加工中冷却设备冷水机的作用
真空镀膜加工过程中，真空镀膜机作为主要设备，工作过程中有高频电流过程，电导会在反复过程中产生大量热能并且集聚在一起，需要冷却设备及时地进行冷却，避免设备部件损坏，影响使用寿命；另外，真空镀膜电镀液需要根据电镀产品不同进行温度调节，并保持相对恒温，反复镀膜会造成镀液温度升高，同样需要冷却设备来准确地控制和稳定电镀液的温度。在工业生产控温中，根据真空镀膜加工的实际需求，选用相应规格的冷水机设备来进行、稳定的温度控制调节是经济有效的解决方案。
悬浮式高真空卷绕式镀膜机的卷绕控制要求的转矩控制，以般采用直流驱动，但是随着交流驱动技术的飞速发展，现在逐步采用交流永磁同步伺服电机或交流异步电机驱动。丹佛斯FC302系列驱动器具有伺服级的驱动性能，驱动交流异步电机也有实现平稳的转矩控制，为这个行业提供了一种易用的解决方案，用户只需要设置几个简单的参数，就能满足实际生产需求，操作和调试也非常简便。
一、悬浮式高真空卷绕式镀膜机的传动结构：
放卷转向为正
放卷转向为负
3驱动悬浮式高真空卷绕式镀膜机的典型传动结构，其中：
M1为冷却辊，直径恒定，由一台FC302驱动，冷辊的速度即为镀膜的线速度。
M2为收卷辊，中心卷绕，直径逐步变大，由一台FC302驱动，提供收卷张力。
M3为放卷辊，中心卷绕，直径逐步变小，由一台FC302驱动，提供放卷张力。
冷却辊和收卷辊的转向是固定的，但是放卷辊由于卷筒卷绕方向不同，工作时有正、反两种转向，对应反、正两种转矩。
真空镀膜机传动系统的特点：
1.由于真空室狭小，无法安装张力检测装置，所以收、放卷张力完全要靠收、放卷驱动的电机直接控制。因此收、放卷驱动器都工作于转矩工作模式。对于较轻较薄的材料，收卷还有张力锥度功能。
2.由于工艺方面的原因，起主传动作用的冷却辊上没有压辊，因此冷却辊只能靠摩擦力带动薄膜；收、放卷张力相差较大时，薄膜很容易在冷却辊上打滑。如何防止打滑是驱动控制方面的难题。
现场实际运行证明丹佛斯FC302驱动器+MCO305运动控制器的解决方案完够满足真空镀膜机的卷绕控制要求。整机加减速速度超过原来的控制方式，大大减少了原材料的浪费。控制系统调试和参数设置都比较方便。令客户满意的是电机可以采用比较经济的交流异步电机，在张力控制精度要求更高的场合才需要升级使用交流永磁同步电机。由于FC302既能驱动异步电机，又能驱动同步电机，系统升级时只需简单地更换电机即可。
