气动泵由压缩空气驱动。定向空气分配阀和引导阀（称为"气室"）设置在泵的中心。介质流经两个对流管和外隔膜室，称为"介质室"。通常，止回阀（球形或片型）设置在每个外隔膜室的顶部或底部，或共用一个对流管。两个外部隔膜室由吸气端口和出口连接器连接，泵是自吸收的。
电化学腐蚀是指由于金属间电极电位的差异，使得异类金属的接触表面形成电池，从而使阳极金属产生腐蚀的电化学过程。防止电化学腐蚀的措施，一是泵的流道好采用相同的金属材料；二是采用牺牲阳极，对阴极金属进行保护。例如将小件的易损件用低电位金属制成，作为阳极，将大件的重要零件用高电位金属制成，作为阴极，阳极金属将先腐蚀，保护了阴极金属。
真空抽吸组件主要由先收缩后扩张的拉瓦尔喷管、负压腔和扩张管等组成。包括供气口、排气口和真空口。当供气口的供气压力一定值后，喷管射出超声速射流，由于气体的粘性，高速射流卷吸走负压腔内的气体，使该腔形成较高的真空度。真空发生器的性能与喷管的直径、收缩和扩散管的形状、通径及其相对位置和气源压力大小等诸多因素有关。该真空抽吸组件通过泵体与吸料口相通，当控制系统循环切换控制气缸工作时，即可完成机组的吸料与排料过程。
