,把高纯度的多晶硅原料放入高纯石英坩埚,通过石墨加热器产生的高温将其熔化;然后,对熔化的硅液稍做降温,使之产生一定的过冷度,再用一根固定在籽晶轴上的硅单晶体(称作籽晶)插入熔体表面,待籽晶与熔体熔和后,慢慢向上拉籽晶,晶体便会在籽晶下端生长;接着,控制籽晶生长出一段长为100mm左右、直径为3~5mm的细颈,用于消除高温溶液对籽晶的强烈热冲击而产生的原子排列的位错,这个过程就是引晶;随后,放大晶体直径到工艺要求的大小,一般为75~300mm,这个过程称为放肩;接着,突然提高拉速进行转肩操作,使肩部近似直角;然后,进入等径工艺,通过控制热场温度和晶体提升速度,生长出一定直径规格大小的单晶柱体;后,待大部分硅溶液都已经完成结晶时,再将晶体逐渐缩小而形成一个尾形锥体,称为收尾工艺。这样一个单晶拉制过程就基本完成,进行一定的保温冷却后就可以取出。
的多晶硅定向凝固技术;的炉膛材质和高气密封性炉腔,为多晶硅生长提供优良条件;隔热笼同步提升技术,垂直方向温度梯度和固液界面水平;方便形成垂直温度梯度的热场设计,实现晶体快速生长;特生长期维持副泵设计,大大降低真空系统能耗,延 长主泵寿命,减少使用维护成本; 采用固化碳毡错位设计,减少热损耗,节能;隔热笼运动机构采用进口驱动器+伺服电机+进口滚珠丝杆副,控制精度高,运行平稳可靠下炉盖运动机构采用直流电机控制、稳定性好,并配有丢步检测保护装置;工艺过程计算机全自动智能化控制,图形化显示,断偶等“经验”处理程序,提高铸锭成功率;可靠的安全性能:国际行业标准的安全性防护设计,采用四重防硅液泄漏安全防护技术,确保防止意外的发生; UPS电源,软件、硬件多重安全保护,故障报警和安全联锁,设备可靠性高;整机模块化、标准化设计,安装快捷,设备拓展方便,可维修性好;快捷方便的本土技术服务,充足的零备件供应。
在传统铸锭过程中,石英坩埚底部易形成大量晶核,难以长出大晶粒,使硅锭内部存在大量晶界,易造成杂质偏聚或沉淀,成为光生载流子强复合中心,降低电池的光电转换效率。类单晶铸锭技术兼具单晶高转换效率和多晶低成本的优点,成为目前业界具竞争力的新型铸锭技术之一。