产品别名 |
蚀刻用氧化钇粉,氧化钇喷涂粉 |
面向地区 |
产地 |
郑州振中 |
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粒度（目） |
按客户要求制动 |
目数 |
600 |
品级 |
其它 |
品名 |
氧化钇 |
振中的高纯氧化钇（99.9%）是一种团聚烧结的高纯Y2O3粉末，该粉体在极其严格的质量控制下生产，采用了振中特的分级技术和热处理技术，颗粒尺寸和颗粒强度都被严格控制在理想状态，确保粉体具备高的纯度，涂层白度高，无论在模具钢还是铝合金上都可以实现较高的沉积效率，涂层硬度平均超过600HV,在模具钢上低的涂层孔隙率可以控制到0.4%以下。
高纯氧化钇喷涂粉主要应用于：半导体晶圆蚀刻机腔室及其零部件表面的陶瓷熔射（等离子喷涂）涂层修复、TFT液晶面板蚀刻设备陶瓷熔射涂层处理。以蚀刻机为例需要熔射处理的主要部件如下：蚀刻机内腔室壁、 静电吸盘、聚焦环、气体注入器、室衬垫、基板支撑件、介电窗、环状构件、夹紧装置、匀气盘，晶圆罩环等。
