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纯净水的工艺严苛，特别是反渗透技术是当今、节能有效的膜分离技术。初用于海水淡化，其孔径非常微小，仅为10-10，它能分离溶液中离子范围和分子量几百的有机物，去除水中的溶解的盐类、胶体、微生物、有机物等，从而获得纯净的、安全的水。
在纯水的制作中，水质标准所规定的各项指标应该根据电子（微电子）元器件（或材料）的生产工艺而定（如普遍认为造成电路性能破坏的颗粒物质的尺寸为其线宽的1/5-1/10），但由于微电子技术的复杂性和影响产品质量的因素繁多，至今尚无一份由工艺试验得到的适用于某种电路生产的完整的水质标准。电子级水标准也在不断地修订，而且高纯水分析领域的许多突破和发展，新的仪器和新分析方法的不断应用都为制水工艺的发展创造了条件。
在高纯水的国家标准为：GB1146.1-89至GB1146.11-89[168]，目前我国高纯水的标准将电子级水分为五个级别：Ⅰ级、Ⅱ级、Ⅲ级、Ⅳ级和Ⅴ级，该标准是参照ASTM电子级标准而制定的。
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