产品别名 |
探针臂,FV-2,探针台测试,探针臂接口 |
面向地区 |
探针台如何工作？
探针台可以固定晶圆或芯片，并定位待测物。手动探针台的使用者将探针臂和探针安装到操纵器中，并使用显微镜将探针放置到待测物上的正确位置。一旦所有探针都被设置在正确的位置，就可以对待测物进行测试。
对于带有多个芯片的晶圆，使用者可以抬起压盘，压盘将探针头与芯片分开，然后将工作台移到下一个芯片上，使用显微镜找到的位置，压板降低后下一个芯片可以进行测试。半自动和全自动探针台系统使用机械化工作台和机器视觉来自动化这个移动过程，提高了探针台生产率。半导体测试可以按生产流程可以分为三类：验证测试、晶圆测试测试、封装检测。
探针台主要用于晶圆制造环节的晶圆检测、芯片研发和故障分析等应用。除探针台外，晶圆检测环节还需要使用测试仪/机，测试仪/机用于检测芯片功能和性能，探针台实现被测芯片与测试机的连接，通过探针台和测试机的配合使用，可以对晶圆上的裸芯片进行功能和电参数测试或射频测试，可以对芯片的良品、不良品的进行筛选。
FV系列高低温真空探针台 | ||||
功能/型号 | FV-2 | FV-4 | FV-6 | |
腔体 | 样品台尺寸 | 2英寸 | 4英寸 | 6英寸 |
观察窗 | 高透石英玻璃 | |||
真空度 | 优于2*10E-3Pa | |||
探针臂接口 | 4个 | 6个 | ||
KF接口 | 2个KF40接口、2个KF25接口、1个KF16接口 | |||
冷源接口 | CF接口，同轴方式 | |||
温度控制 | 温度范围 | -196℃-200℃，可升级更高温度 | ||
温控精度 | 1℃/0.1℃/0.01℃ | |||
温度稳定性 | ±1℃/±0.1℃/±0.01℃ | |||
制冷 | 液氮/制冷机 | |||
加热 | 直流加热 | |||
显微镜系统 | 显微镜类型 | 单筒显微镜、体视显微镜、金相显微镜 | ||
放大倍率 | 400X | |||
固定方式 | 让立柱旋转结构、龙门架固定结构 | |||
探针臂 | 数量 | 多4个 | 多6个 | |
XYZ移动行程 | 50mm*10mm*10mm | 100mm*50mm*25mm | ||
移动精度 | 2um | |||
测试接头 | 三轴接头/射频接头 | |||
探针 | 钨钢/铍铜材质，针尖半径可选 | |||
真空配件 | 分子泵 | 极限真空度10E-4Pa | ||
机械泵 | 极限真空度10E-1Pa | |||
附件 | KF25波纹管、KF40卡箍、KF25卡箍、KF16放气阀 | |||
可搭配仪器 | 源表/半导体参数分析仪/万用表/示波器/网络分析仪等 | |||
其他附件 | 射频配件、光学平台、激光器、光纤、转接头、转接线 | |||
公司所有产品出厂都经过严格测试，产品质量，公司所有产品通过CE认证，通过ISO9001质量体系认证。
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