产品别名 |
探针,晶圆探针座,低温探针台,简易探针台 |
面向地区 |
通常需要确定以下问题来确定探针台的选型：
1、需要测几英寸的晶圆或者器件？
2、探针台机械精度要求多高？
3、点测样品的尺寸规格为多少？100um*100um或60um*60um的pad，还是FIB制作的mini pad，还是ic内部的metal？
4、Pad尺寸大于20um就都可以使用体式显微镜（体式显微镜倍率200倍）
5、多需要几根探针同时去点测？
6、会测试到的的电流、电压值是多少（电压越高探针的针尖就要越粗、对夹具的要求也会越高。5A以下推荐使用同轴夹具、5A以上推荐使用三轴夹具）
7、漏电精度需要达到多高？是否有射频的需求？三轴管状夹具：100FA，同轴弹簧夹具：10PA（漏电精度：小能测到的电流的量级）
8、是否会用到探针卡？
9、光学显微镜的小分辨率需要用到多少？
10、显微镜方面，是否需要添加偏光片做LC液晶热点侦测？
11、接驳的测试仪器接口有哪些？
12、测试环境时是否会需要加热或者降温？
13、对chuck的漏电要求怎样？是否需要添加低阻抗chuck？
14、是否需要防震桌？
15、若添置防震桌，是否有压缩空气？
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