产品别名 |
半导体洁净棚 |
面向地区 |
半导体洁净棚是一种用于半导体器件生产的特殊环境控制设施，其关键作用是半导体产品的清洁度。洁净棚的环境参数，如温度、湿度、压力、尘埃粒子数和微生物浓度等严格控制在规定范围内。
洁净棚一般由钢结构或无尘室钢结构加装而成，内部设施，包括照明、通风、防静电地板、超净空调系统等。建造洁净棚的材料有多种选择，如使用防静电瓷砖、钢板网、塑料板等。
此外，半导体洁净棚还应满足相关安全规范和标准，如ISO/TS 15816-2和GB50591-2010等。这些规范和标准对人员进出、更衣设施、淋浴设施、应急设施、洁净棚结构材料、防静电措施等方面都有严格的要求。
