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直拉法,也叫切克劳斯基(J.Czochralski)方法。此法早在1917年由切克劳斯基建立的一种晶体生长方法,用直拉法生长单晶的设备和工艺比较简单,容易实现自动控制,生产,易于制备大直径单晶,容易控制单晶中杂质浓度,可以制备低电阻率单晶。据统计,世界上硅单晶的产量中70%~80%是用直拉法生产的。
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所述主炉室内设置有主炉室坩埚,所述下驱动装置和主炉室坩埚相连,以便通过下驱动装置动主炉室坩埚升降,所述副炉室和主炉室相连通,所述上驱动装置安装在副炉室的上端,以便通过上驱动装置驱动拉晶,它还包括:外部加料器,所述外部加料器内设置有加料腔,所述加料腔内设置有加料坩埚,所述外部加料器的盖装有上盖;用于熔化硅料的外部化料器,所述外部化料器的和加料坩埚相连通,所述外部化料器的底端和主炉室坩埚相连通,以便将硅料加加料坩埚后,硅料漏外部化料器后被外部化料器熔化,被熔化后的硅料流主炉室坩埚内。进一步提供了外部化料器的具体结构,所述外部化料器包括装料器、化料器坩埚和用于给化料器坩埚加热以便硅料熔化的热场,所述装料器和加料坩埚相连通,所述化料器坩埚和装料器相连通,所述热场套装在化料器坩埚的外侧,便硅料依次进入加料坩埚、装料器和化料器坩埚,并在化料器坩埚内经热场熔化后又进入主炉室坩埚。
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