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多晶硅铸锭炉回收 |
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原理编辑，把高纯度的多晶硅原料放入高纯石英坩埚，通过石墨加热器产生的高温将其熔化；然后，对熔化的硅液稍做降温，使之产生一定的过冷度，再用一根固定在籽晶轴上的硅单晶体（称作籽晶）插入熔体表面，待籽晶与熔体熔和后，慢慢向上拉籽晶，晶体便会在籽晶下端生长；接着，控制籽晶生长出一段长为100mm左右、直径为3～5mm的细颈，用于消除高温溶液对籽晶的强烈热冲击而产生的原子排列的位错，这个过程是引晶；随后，放大晶体直径到工艺要求的大小，一般为75～300mm，这个过程称为放肩；接着，突然提高拉速进行转肩操作，使肩部近似直角；然后，进入等径工艺，通过控制热场温度和晶体提升速度，生长出一定直径规格大小的单晶柱体；后，待大部分硅溶液都已经完成结晶时，再将晶体逐渐缩小而形成一个尾形锥体，称为收尾工艺。这样一个单晶拉制过程基本完成，进行一定的保温冷却后可以取出。
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并在副炉室3移取晶位的过程中，通过电动接晶托防止晶棒掉落，安全；当不再继续加料时，通过化料器升降驱动装置将外部化料器7提升不干涉主炉室坩埚21上升的位置，并通过化料器旋臂18的旋转旋开外部化料器7，进而方便拆炉和清理；本发明通过减震装置对下驱动装置进行减震，使拉晶时下驱动装置不受外界震动影响，进而保晶棒质量；本发明的升降丝杆91、旋转丝杆112和丝杠192的外侧分别套装有防尘罩，进而防止润滑油脂挥发污染原料。
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