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有些真空镀膜机真空计的读数，与气体种类有关，比如热偶计，电离真空计。选用适当的气体或液体做示漏物质，这些真空计便成了探测器，一般镀膜机上都有真空计，使用起来很方便，也是常用到的一种检漏方法。用于热偶计的示漏物质有，二氧化碳，丁烷，酒精等热偶计反应较慢，观察要很仔细。用于电离计的示漏物质有氦，氩，酒精等。

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真空镀膜工艺在信息存储范畴中的运用薄膜资料作为信息记载于存储介质，有其得天厚的优势：因为薄膜很薄能够疏忽涡流损耗；磁化回转极为敏捷；与膜面平行的双稳态状况简单保持等。为了更精细地记载与存储信息，必定要选用镀膜技能。

真空镀膜工艺在传感器方面的运用在传感器中，多选用那些电气性质相关于物理量、化学量及其变化来说，极为敏感的半导体资料。此外，其中大多数运用的是半导体的外表、界面的性质，需求尽量增大其面积，且能工业化、低报价制造、因而选用薄膜的状况许多。

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