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MOX传感器MCM设备的组成。测试系统需求为了测试这些设备，测试系统需要具备以下功能和属性：测试/校准MOX传感器的时间可能需要几十分钟。由于需要在真空和目标气体“浸泡”传感器，所以需要很长的“soak”时间。显然，使用大型、的半导体测试仪，在soak期间需要闲置一段时间，这样不能有效的利用这些昂贵的资源。所以，解决方案具有较低的初始资本成本。测试吞吐量很重要。由于驻留时间长，因此系统支持非常大的并行测试能力，这样才能将soak时间内分摊到多个设备上DUT负载板位于一个可以对气体浓度进行控制的封闭环境中。
