产品别名 |
车载片镀膜机 |
面向地区 |
品牌 |
龙翩 |
规格
腔体尺寸 2050
蒸发源 电子束源
沉积控制 QCM(选项:人事管理局)
基板夹具 可选:分段圆顶(3/6/7)，翻转，行早夹具
控制系统 HOPE(过程控制和监控-PC系统)
单枪
阻蒸
霍尔源
晶控 （XTC/3）
双扩散泵
罗茨泵 （爱德华）
机械泵 （莱宝）
| 品牌 | 型号 | 数量 |
| 韩国SNTEK | 2050 | 1台 |
| 莱宝 | APS1104 | 1台 |
| 联合 | UNIVAC-2050 | 2台 |
| 龙翩 | LP-2050EBA | 1台 |
| 龙翩 | LP-1800EBA | 2台 |
| 龙翩 | LP-1650EBA | 1台 |
| 龙翩 | LP-1400EBA | 1台 |
| 光驰 | OTFC-1300 | 2台 |
| 韩一 | HVC-1600DA | 1台 |
| 韩一 | HVC-2050DA | 3台 |
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